Duden - Das Wörterbuch chemischer Fachausdrücke
Sekundärionen-Massenspektrometrie
Se|kun|där|io|nen-Mas|sen|spek|t|ro|me|t|rie [ "sekundär" (1)]; Abk. SIMS; Syn.: Ionenstrahl-Mikroanalyse (IMA, IMMA, IPMA, ISMA): ein Verfahren der "Massenspektroskopie" zur qual. u. quant. Analyse der Oberflächen von Werkstoffen mit Hilfe einer sog. Ionensonde (Ionenmikrosonde). Ein gebündelter Strahl von Primärionen (O+2, O, Cs+, Ar+, Ga+) erzeugt beim Auftreffen auf die Probenoberfläche Sekundärionen, die massenspektrometrisch untersucht werden.
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