Duden - Das Wörterbuch chemischer Fachausdrücke
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Ionenimplantation
Io|nen|im|plan|ta|ti|on: zur ↑ "Dotierung" entwickeltes Verfahren, bei dem Halbleiterwerkstoffe gebündelten ↑ ausgesetzt werden, deren Eindringtiefe von der Beschleunigungsenergie (keV – MeV) abhängt.
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