Duden - Das Wörterbuch chemischer Fachausdrücke
Epitaxie
E|pi|ta|xie [↑ "epi-" (5) u. ↑ "Taxie"], die; -, …xi|en; Syn.: orientierte Verwachsung oder Aufwachsung: die Entstehung einer meist dünnen, perfekt krist. Schicht einer Kristallart (sog. Gast) beim ↑ "Aufdampfen" auf die Kristallflächen einer als Wirt oder Träger fungierenden anderen (Heteroepitaxie) oder derselben (Homoepitaxie) Kristallart. Die E. wird haupts. zur Herst. von Halbleiterbauteilen u. zur ↑ "Dotierung" eingesetzt.
E|pi|ta|xie [↑ "epi-" (5) u. ↑ "Taxie"], die; -, …xi|en; Syn.: orientierte Verwachsung oder Aufwachsung: die Entstehung einer meist dünnen, perfekt krist. Schicht einer Kristallart (sog. Gast) beim ↑ "Aufdampfen" auf die Kristallflächen einer als Wirt oder Träger fungierenden anderen (Heteroepitaxie) oder derselben (Homoepitaxie) Kristallart. Die E. wird haupts. zur Herst. von Halbleiterbauteilen u. zur ↑ "Dotierung" eingesetzt.