Duden - Das Wörterbuch chemischer Fachausdrücke
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Ellipsometrie
El|lip|so|me|t|rie [↑ "Elliptizität" u. ↑ "-metrie"], die; -, …tri|en: auf der Messung der Elliptizität reflektierten Lichts beruhende Methode zur Bestimmung von Dicke u. Refraktion dünner Schichten.
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