Duden - Das Wörterbuch chemischer Fachausdrücke
CVD
CVD [Abk. für engl. chemical vapor deposition = chemische Dampfabscheidung]; Syn.: Gasphasenabscheidung: das; -: Verfahren zur Erzeugung sehr dünner Oberflächenschichten aus Metallen, Leg. oder Verb., die sich aus gasförmig bei hohen Temp. zugeführten Ausgangsstoffen erst auf dem zu beschichtenden Material bilden. Vgl. PVD.
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