Kathodenzerstäubung
Ka|tho|den|zer|stäu|bung 〈f. ; Gen.: -, Pl.: -en; El. 〉 Form der Materialbearbeitung, bei der ein Material durch Hochspannung an einer Kathode zerstäubt wird u. in feinen Schichten auf einem als Anode geschalteten Material niedergeschlagen wird; oV