Meyers Großes Taschenlexikon in 25 Bänden
Vakuumtechnik
Vaku|umtechnik,Teilgebiet der Technik, das sich mit den Verfahren und Anlagen zum Erzeugen bzw. Aufrechterhalten, Messen und Anwenden von Vakuum befasst. Die Einsatzgebiete der V. sind vielseitig. Sie reichen von der chem. Verfahrenstechnik (z. B. Destillation, Filtrierung), der pharmazeut. und Lebensmittelind. (Vakuumtrocknung) und der Metallurgie bis zur Raumfahrttechnik, in der Vakuumanlagen zum Test von Satelliten, Werkstoffen u. a. unter Weltraumbedingungen eingesetzt werden. Von großer Bedeutung sind die Hoch- und Ultrahoch-V. v. a. zur Herstellung elektr. und elektron. Geräte (z. B. Elektronen- und Fernsehbildröhren) sowie integrierter Schaltungen in der Mikroelektronik, zum Aufdampfen dünner Schichten auf hochwertige opt. Spiegel, Projektoren, Reflektoren u. a. sowie beim Betrieb unterschiedl. Geräte und Anlagen (z. B. Elektronenmikroskop, Teilchenbeschleuniger).
Literatur:
M. Wutz Handbuch der V. Theorie u. Praxis, Beiträge v. u. a. Braunschweig u. a. 61997.
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