Meyers Großes Taschenlexikon in 25 Bänden
Strahlschreiben
Strahlschreiben,Halbleitertechnik: Verfahren der Lithographie, bei denen die Struktur eines integrierten Bauelements (integrierte Schaltung) mittels rechnergesteuerter Teilchenstrahlen (Elektronen oder Ionen) direkt auf die einkristallinen Halbleiterscheiben (Wafer, Chip) übertragen wird. Vorteilhaft bei diesem Verfahren sind die Möglichkeit der Erzeugung kleinster Strukturen und die Flexibilität hinsichtlich Änderungen der zu übertragenden Strukturen.
Strahlschreiben,Halbleitertechnik: Verfahren der Lithographie, bei denen die Struktur eines integrierten Bauelements (integrierte Schaltung) mittels rechnergesteuerter Teilchenstrahlen (Elektronen oder Ionen) direkt auf die einkristallinen Halbleiterscheiben (Wafer, Chip) übertragen wird. Vorteilhaft bei diesem Verfahren sind die Möglichkeit der Erzeugung kleinster Strukturen und die Flexibilität hinsichtlich Änderungen der zu übertragenden Strukturen.