Meyers Großes Taschenlexikon in 25 Bänden
Sputtering
Sputtering['spʌtərɪŋ; engl., eigtl. das »Heraussprudeln«] das (eingedeutscht Sputtern), Methode zur Zerstäubung von Festkörpern im Hochvakuum, bei der durch Beschuss eines negativen Targets mit Ionen (vorwiegend Edelgasionen von einigen Kiloelektronvolt Energie) Atome vom Target abdampfen und dann auf der Oberfläche eines Substrats abgelagert werden (z. B. bei der Kathodenzerstäubung).
Sputtering['spʌtərɪŋ; engl., eigtl. das »Heraussprudeln«] das (eingedeutscht Sputtern), Methode zur Zerstäubung von Festkörpern im Hochvakuum, bei der durch Beschuss eines negativen Targets mit Ionen (vorwiegend Edelgasionen von einigen Kiloelektronvolt Energie) Atome vom Target abdampfen und dann auf der Oberfläche eines Substrats abgelagert werden (z. B. bei der Kathodenzerstäubung).