Meyers Großes Taschenlexikon in 25 Bänden
Planartechnik
Planartechnik,grundlegende Technologie zur Herstellung von Halbleiterbauelementen (monolith. Schaltkreise), bei der alle Bauelemente und Verbindungsleitungen in Ebenen (planar) angeordnet sind. Durch Strukturierung mithilfe der Photolithographie (Lithographie) entstehen die pn-Gebiete in ihren endgültigen Abmessungen. Als Halbleitermaterial wird Silicium verwendet, das an seiner Oberfläche eine Siliciumdioxidschicht bildet, die die pn-Übergänge schützt und die Maskendiffusion ermöglicht.
Planartechnik,grundlegende Technologie zur Herstellung von Halbleiterbauelementen (monolith. Schaltkreise), bei der alle Bauelemente und Verbindungsleitungen in Ebenen (planar) angeordnet sind. Durch Strukturierung mithilfe der Photolithographie (Lithographie) entstehen die pn-Gebiete in ihren endgültigen Abmessungen. Als Halbleitermaterial wird Silicium verwendet, das an seiner Oberfläche eine Siliciumdioxidschicht bildet, die die pn-Übergänge schützt und die Maskendiffusion ermöglicht.