Meyers Großes Taschenlexikon in 25 Bänden
PVD-Verfahren
PVD-Verfahren[PVD Abk. für engl. Physical Vapour Deposition], die Beschichtung vorzugsweise metall. Werkstoffe durch physikal. Dampfabscheideprozesse mithilfe plasmaaktivierter Verfahren. Abgeschieden werden Hartstoffverbindungen (Hartstoffe) mit hoher Verschleißbeständigkeit, wobei im Gegensatz zum CVD-Verfahren die Hartstoffverbindung im Fein- und Hochvakuumbereich aus den Ausgangselementen synthetisiert wird.
PVD-Verfahren[PVD Abk. für engl. Physical Vapour Deposition], die Beschichtung vorzugsweise metall. Werkstoffe durch physikal. Dampfabscheideprozesse mithilfe plasmaaktivierter Verfahren. Abgeschieden werden Hartstoffverbindungen (Hartstoffe) mit hoher Verschleißbeständigkeit, wobei im Gegensatz zum CVD-Verfahren die Hartstoffverbindung im Fein- und Hochvakuumbereich aus den Ausgangselementen synthetisiert wird.