Meyers Großes Taschenlexikon in 25 Bänden
Kathodenzerstäubung
Kathodenzerstäubung(Sputtering), das Herausschlagen von Atomen aus der Metallkathode durch die aufprallenden Ionen einer Gasentladung. Das zerstäubte Metall schlägt sich im Entladegefäß als gleichmäßige Schicht nieder; technisch von Bedeutung ist die K. z. B. für die Herstellung dünner Schichten und metall. Gläser.
Kathodenzerstäubung(Sputtering), das Herausschlagen von Atomen aus der Metallkathode durch die aufprallenden Ionen einer Gasentladung. Das zerstäubte Metall schlägt sich im Entladegefäß als gleichmäßige Schicht nieder; technisch von Bedeutung ist die K. z. B. für die Herstellung dünner Schichten und metall. Gläser.