Meyers Großes Taschenlexikon in 25 Bänden
Epitaxie
Epitaxie[grch.] die, das Aufwachsen einer Kristallschicht auf einer Kristalloberfläche der gleichen Substanz (Homo-E. ) oder einer anderen Substanz (Hetero-E.). Halbleiterbauelemente werden nach versch. E.-Verfahren hergestellt. Bei der Flüssigkeitsphasen-E. wird der Trägerkristall (Substratkristall) mit einer gesättigten Lösung und bei der Gasphasen-E. mit einer gesättigten Atmosphäre von Atomen des aufwachsenden Kristalls in Kontakt gebracht. Bei der Molekularstrahl-E. werden die elementaren Bestandteile des aufwachsenden Kristalls durch Molekularstrahlen im Ultrahochvakuum zur Substratoberfläche transportiert und dort Atom für Atom angelagert.
Epitaxie[grch.] die, das Aufwachsen einer Kristallschicht auf einer Kristalloberfläche der gleichen Substanz (Homo-E. ) oder einer anderen Substanz (Hetero-E.). Halbleiterbauelemente werden nach versch. E.-Verfahren hergestellt. Bei der Flüssigkeitsphasen-E. wird der Trägerkristall (Substratkristall) mit einer gesättigten Lösung und bei der Gasphasen-E. mit einer gesättigten Atmosphäre von Atomen des aufwachsenden Kristalls in Kontakt gebracht. Bei der Molekularstrahl-E. werden die elementaren Bestandteile des aufwachsenden Kristalls durch Molekularstrahlen im Ultrahochvakuum zur Substratoberfläche transportiert und dort Atom für Atom angelagert.