Meyers Großes Taschenlexikon in 25 Bänden
dünne Schichten
dünne Schichten,Physik: Körper, deren Dicke so gering ist (μm- bzw. nm-Bereich), dass ihr physikal. Verhalten (z. B. elektr. Leitfähigkeit) stark von dem einer gleichartigen massiven Probe abweicht. Sie werden praktisch durch Kathodenzerstäubung oder Aufdampfen auf einen Träger hergestellt. Anwendung u. a. in der Optik zur Reflexionsminderung (Wärmedämmung, Schutz empfindl. Gläser), auf CDs, in der Mikroelektronik.
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