Meyers Großes Taschenlexikon in 25 Bänden
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Dünnfilmtechnik
Dünnfilmtechnik(Dünnschichttechnik), Verfahren zur Herstellung elektron. Schaltungen durch Aufdampfen von Bauelementen (meist Widerstände, Kondensatoren) als Schicht von 10 bis 1 000 nm auf ein isolierendes Substrat.
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