Duden ‒ Das große Wörterbuch der deutschen Sprache
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Kathodenzerstäubung
Ka|tho|den|zer|stäu|bung, (fachsprachlich auch:) Ka|to|den|zer|stäu|bung, die (Physik):Bildung feinster Schichten von Metall auf der Anode durch Atome, die sich von der Kathode im Hochvakuum gelöst haben.
Ka|tho|den|zer|stäu|bung, (fachsprachlich auch:) Ka|to|den|zer|stäu|bung, die (Physik):Bildung feinster Schichten von Metall auf der Anode durch Atome, die sich von der Kathode im Hochvakuum gelöst haben.