Duden Das große Fremdwörterbuch
Submikrometertechnik
Sub|mi|kro|me|ter|tech|nik* die; -
Herstellung von höchst- bis ultrahoch integrierten Schaltungen u. Strukturen, deren Größe weit unterhalb eines Mikrometers liegt (Elektronik).
Sub|mi|kro|me|ter|tech|nik* die; -
Herstellung von höchst- bis ultrahoch integrierten Schaltungen u. Strukturen, deren Größe weit unterhalb eines Mikrometers liegt (Elektronik).