Duden Das große Fremdwörterbuch
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Sputtering
Sput|te|ring ['spʌtə...] das; -
engl. sputtering, eigtl. »das Heraussprudeln«, zu to sputter »heraussprudeln«>
Kathodenzerstäubung, das Herausschlagen von Atomen aus der Metallkathode durch die auffallenden Ionen einer Gasentladung (Elektrizitätslehre)
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