Duden Das große Fremdwörterbuch
Ionenimplantation
Io|nen|im|plan|ta|ti|on* die; -, -en: Verfahren der Halbleitertechnologie zur gezielten Dotierung (vgl. ↑dotieren 2) von Halbleitermaterial durch Beschuss mit einem gebündelten Strahl stark beschleunigter Ionen zur Erzielung besserer Oberflächeneigenschaften.
Io|nen|im|plan|ta|ti|on* die; -, -en: Verfahren der Halbleitertechnologie zur gezielten Dotierung (vgl. ↑dotieren 2) von Halbleitermaterial durch Beschuss mit einem gebündelten Strahl stark beschleunigter Ionen zur Erzielung besserer Oberflächeneigenschaften.